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Proportion-Air QB3电气比例阀——激光充电室流量控制

发布日期: 2022-07-12
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Proportion-Air QB3电气比例阀——激光充电室流量控制

下图显示了一个激光充电室流量控制应用程序,该应用程序需要可以动态调整的3种气体混合物。

使用了三个F系列闭环流量控制器- 每个气体控制一个。可以通过调节相应流量控制器的指令信号来改变混合物。由于这是一个闭环控制方案,来自流量监视器的信号可用于数据采集。该信号在FQPV2主电气连接器的引脚5上可用。

在此应用中还使用QB3来控制装料室中的真空。真空度是一个关键部件,需要可重复控制以帮助保持充电室中每种气体的适当水平。




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