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hot news当控制进入充气室的气体时,(通常)采用质量流量控制。然而,在这个草图中,我们展示了激光充电室压力控制以实现类似的结果。一个3站SPV(歧管安装)压力控制组件将3种不同的气体控制到一个固定的(和已知的)孔口。通过改变固定孔的压力,可以改变流量并产生可预测和可重复的结果。
虽然不如对每种气体使用质量流量控制器有效和准确,但这个概念更实惠,并且可以产生出色的结果。其背后的简单概念:如果您知道孔口的确切尺寸、气体密度和压力,您就可以预测通过孔口的流量。